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使用智能I/O提供實時氧濃度監(jiān)測

日期:2017-11-08   閱讀:1354次
使用產(chǎn)品:ioLogik E2242 
國家/城市:中國臺灣
更新日期:2013-08-05

項目描述

半導體制造需要采用危險的化學品和氣體進行精確的納米級操作。危險氣體和空氣中氧氣的比例若是異常的高,可能會導致發(fā)生昂貴的故障,甚至以生命作為代價。傳統(tǒng)意義上,半導體廠商都使用可編程邏輯控制器(PLC)進行來監(jiān)控氧氣濃度,控制報警和管理通風系統(tǒng),以便隨時通入新鮮氧氣來盡快恢復濃度比例。盡管PLC非常適合此類控制應(yīng)用,但其被動的通信機制成為一大限制。特別是,中央SCADA系統(tǒng)必須采用傳統(tǒng)的RS-485來反復輪詢氧氣傳感器,這意味著無法獲得實時的氧氣濃度數(shù)據(jù)。世界上最大的半導體制造商需要一種解決方案,來監(jiān)控實時的氧氣濃度,觸發(fā)報警,以及控制通風系統(tǒng)。

系統(tǒng)需求

  • 氣體濃度異常時,向控制中心和SCADA系統(tǒng)發(fā)出實時報警

  • 具有邏輯控制的本地報警,提醒氣體濃度

  • 混合的模擬和數(shù)字I/O解決方案,兼容更多設(shè)備

  • 高可靠性

  • 以太網(wǎng)通信

Moxa解決方案

與被動等待中央SCADA系統(tǒng)輪詢遠程傳感器不同,ioLogik E2242系列以太網(wǎng)I/O具有本地智能通訊能力,在模擬氣體讀數(shù)發(fā)生變化是,可以主動向SCADA系統(tǒng)發(fā)出更新。這種主動通訊的架構(gòu)比傳統(tǒng)的輪詢架構(gòu)可以減少更多的網(wǎng)絡(luò)帶寬需求,同事還可確保SCADA系統(tǒng)獲得實時的氣體讀數(shù)。Moxa獨有的自動標簽生成技術(shù)大大簡化了這些功能的配置,所以SCADA工程師可以專注于系統(tǒng)的其他部分,而無需浪費時間在OPC server上建立標簽。

更具體地說,ioLogik E2242的免編程前端控制邏輯Click&Go?可以使I/O設(shè)備觸發(fā)本地報警,然后啟動風扇將新鮮氧氣送入車間,并同時以email、TCP、UDP或SNMP trap將氧氣含量低的報警信息發(fā)送至運營控制中心OCC。當OCC的中央計算機接到報警信息,會發(fā)送一個遠程操作關(guān)閉ioLogik的報警功能。最后,當ioLogik E2242監(jiān)測出含氧量已達安全值時,會主動關(guān)閉風扇。在這個過程中,ioLogik E2242智能以太網(wǎng)I/O可以提供實時的氧氣濃度數(shù)據(jù),并報警、通風控制,以保證半導體制造過程的安全平穩(wěn)。

FAsuccess-diagram.jpg

Why Moxa

  • 標簽即時更新,Active OPC Server提供實時監(jiān)控

  • 菊花鏈拓撲結(jié)構(gòu),降低布線成本

  • 只有達到閥值時才會發(fā)送狀態(tài)報告,減少不必要的網(wǎng)絡(luò)流量



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